【技术参数】
分辨率： 1.2nm @15 kV 2.2nm @1kV
放大倍数：10-1,000,000×
加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）
探针电流： 4pA-20nA （40nA&100nA可选）
低真空范围： 2-133Pa （Sigma 300VP可用）
样品室： 365 mm（φ），275mm（h）
样品台：5轴优中心全自动
X=125mm
Y=125 mm
Z=50 mm
T=-10o-90o
R=360o 连续
系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制
